1）ICP中文全称为电感耦合等离子体刻蚀；（2）它主要组成有：上电极、ICP 射频单元、RF 射频单元、下电极系统、控温系统等组成。（3）具有均匀性好，稳定性高，选择比高等优势，适用于2、4、6、8、12寸尺寸工艺。