（1）湿法设备应用于2寸-12寸清洗、蚀刻、去胶、显影、电镀。（2）机械手系统易安装，更新模块，各个模块单独的排风装置。（3）多种不同的清洗工艺:RCA、IMEC、Pre -Diffusion. Pre- -Metal等。