（1）设备一体化设计，占地面积小，性价比高，性能稳定，使用维护成本低；（2）适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等；（3）适用于制备光学薄膜、导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜等。