NSR-2205i9C光刻机 分辨率：0.45um 不适用：0.57 曝光光源：365nm 放大倍数：1:5 曝光场大小(最大曝光视场）: 20毫米*20毫米 覆盖accuracy:90nm 薄脆饼size:6 inches 容量：50件/小时NSR-2205i12D光刻机 Resolution:0...